国家知识产权局信息显示,鑫业诚智能装备(无锡)有限公司取得一项名为“一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构”的专利,授权公告号CN223870521U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体晶圆光学检测领域,具体提供了一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构,包括线扫相机、线扫镜头和线扫光源,所述线扫光源包括第一线光源、第二线光源、第三线光源,用于晶圆产品检测照明;所述第一线光源用于检测晶圆产品表面划伤和针痕异常;第二线光源用于检测晶圆产品色差;第三线光源用于检测晶圆产品上的黑点和固定点划伤;本实用新型设置线扫光源配合线扫相机和线扫镜头检测使用,能够提高对于晶圆产品的检测效果和检测效果;本实用新型对构成线扫光源的多个线光源的出射光线角度进行合理设计,构成多种照明功能,单次就能够实对晶圆产品的多种缺陷检测,极大的提高了产线工作效率。
天眼查资料显示,鑫业诚智能装备(无锡)有限公司,成立于2016年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1295.820349万人民币。通过天眼查大数据分析,鑫业诚智能装备(无锡)有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目19次,财产线条,此外企业还拥有行政许可16个。
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